テクノマシナリー株式会社

(旧社名テクノ技研(株)）

電話(0538)38-6018　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ゴムのカット/研磨/仕上/ カット～仕上げ加工機のテクノマシナリー

CMPパッド加工機/ＰＡＤクリーニング装置　　　　　　　　　　　　　　　カタログ請求
CMPパッドに溝･孔加工を行ったり、溝･孔加工を行ったパッドをクリーニングするマシンです。
ご要望に合わせて製造いたします。

TPM-01

CMPパッド加工機

CMP用ﾊﾟｯﾄﾞ加工機

CMPパッドに溝･孔加工をするマシンです。
パッド意匠は、同心円･ＸＹ･放射･パーフォレートが出来ます。
◇パッド径：20～30inch
◇パッド厚み：ｔ1.2～

■吸着は真空ポンプ
■加工設定はタッチパネルで簡単入力
※カタログ掲載

TPC-01

ＰＡＤクリーニング装置

PADｸﾘｰﾆﾝｸﾞ

CMPパッドの表面･溝をクリーニングするマシンです。
◇パッド径：20～30inch
◇パッド厚み：t1.2～

■吸着は真空ポンプ
■回転ブラシによる加工クズ除去
■強力ブロアーによる加工クズ吸引
■除電器による静電気除去
※カタログ掲載

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